XX智能提供精密抛光的一站式解决方案，专业生产高精度双面研磨机、半自动贴蜡机、单面抛光机、CMP抛光机、高精度砂轮减薄机等设备。
XX智能的工艺解决方案应用于碳化硅、氮化镓、磷化铟、砷化镓、硅、蓝宝石等脆硬材料的减薄、研磨、抛光和平坦化制程。
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| 机型 | YDL-16B5 | YDP-18B5 |
| 设备尺寸（mm） | 2374(W)*2011(L)*2878(H) | 74(W)*2011(L)*2878(H) |
| 磨盘尺寸及材质 | Ø1140*Ø396*t60,QT600 | Ø1290*Ø426*t50,0Cr13 |
| 最大加工直径 | 300mm | 390mm |
| 游星轮 | 5张，Ø423.32*200tooth | 5张，Ø460*92tooth |
| 磨盘转速 | 1~28RPM | 1~60RPM |
| 上抛盘转速 | 1~20RPM | 1~35RPM |
| 驱动方式 | 4马达 | 4马达 |
| 供应电源 | 380V 3P 50/60Hz | |
| 主要功能 | 5组西门子电子+意大利摩多利减速机 高精度主轴系统 575kg 最大压力 SMC气动元件+精密称重传感器+比例阀压力闭环控制 上抛盘磁性感应开关安锁紧装置 三菱电机可编程控制器PLC和变声器 预设4种盘面形态修盘模式 环齿圈手动和自动升降 研磨液循环供给系统 |
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| 选配功能 | 研磨液冷却及自动温度控制系统 防止晶片划伤的抛光液过滤装置 高精度光栅厚度控制系统，分辨率达0.001mm |
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